Xzeros teknik garanterar en högre och mer konsekvent renhet.
Genomtänkt design och urval av konstruktionsmaterial garanterar att vattnet inte förorenas under tillverkningen. Sen är det är viktigt att vattnet hålls helt rent fram till användningen. LastRinse kan därför tillverkas med lagom kapacitet för att placeras precis bredvid de processer där vattnet behövs.
Det finns tre applikationer för vilka Xzeros system är byggda för – kallade för de tre vertikalerna: produktion av UPW, återvinning av vatten efter användning och rengöring av IPA.
Vatten med hög renhet, i sig eller som lösningsmedel till andra kemikalier, används för att avlägsna kemikalier och reaktionsprodukter. Storleken på föroreningar som behöver elimineras minskar allteftersom komponenterna blir allt mer kompakta.
Renvatten tillverkas på olika sätt. Men alla har idag en central anläggning. Medelkapaciteten är 1,5 miljoner liter (400 000 US gallon) per dag men ett ökande antal anläggningar är flera gånger större. Vattnet cirkulerar ständigt i en slinga (polishing loop) för att förhindra bakterietillväxt och pumpas vid behov från den centrala anläggningen till renrum i enskilda tillverkningsenheter s.k. fabs. En anläggning kan ha ett halvdussin fabs eller mer.
Den faktiska konsumtionen av UPW varierar från anläggning till anläggning och över tiden beroende på vilka processer som används. Trots försök att av ekologiska motiv minska vattenförbrukningen har industrin hittills stadigt ökat vattenanvändningen, helt enkelt därför att mer avancerade komponenter behöver noggrannare rengöring.
Rent vatten är ett värdefullt material som bör användas på ett optimalt sätt. Att dumpa förorenat vatten har dessutom börjat bli oacceptabelt ur miljösynpunkt.
Tidiga försök att återanvända vatten utgick från att en del av vattnet kunde återvinnas för att användas i kyltorn och skrubber och till att vattna gräsmattor med.
Att på så sätt uppnå cirka 40 % minskning av vattenförbrukningen var lätt. Det är svårare att nå 70 % eller mer. Xzero möjliggör nära 100 % återvinning genom att vattnet blir tillräckligt rent för att återanvändas som renvatten i produktionen.