VÅR TEKNIK
Xzeros teknik garanterar en högre och mer konsekvent renhet. Genom att minska antalet processteg finns det färre felkällor än i dagens spetsteknik. Färre steg betyder, färre komplikationer och högre tillförlitlighet, vilket med hänsyn till de dyrbara processerna anses viktigt i branschen.
För att säkerställa att resultatet är helt rent ingår flera hjälpaspekter. Kväveöverdrag och vacuum för säkerställer att vattnet inte återkontamineras av flyktiga ämnen. Noggrann design och val av inerta material säkerställer att processutrustningen i sig inte förorenar vatten.
Det finns tre applikationer för vilka Xzeros system är byggda för – kallade för de tre vertikalerna: produktion av UPW, återvinning av vatten efter användning och rengöring av IPA.
Användning
Vatten med hög renhet, i sig eller som lösningsmedel till andra kemikalier, används för att avlägsna kemikalier och reaktionsprodukter. Storleken på föroreningar som behöver elimineras minskar allteftersom komponenterna blir allt mer kompakta.
Renvatten tillverkas på olika sätt. Men alla har idag en central anläggning. Medelkapaciteten är 1,5 miljoner liter (400 000 US gallon) per dag men ett ökande antal anläggningar är flera gånger större. Vattnet cirkulerar ständigt i en slinga (polishing loop) för att förhindra bakterietillväxt och pumpas vid behov från den centrala anläggningen till renrum i enskilda tillverkningsenheter s.k. fabs. En anläggning kan ha ett halvdussin fabs eller mer.
Den faktiska konsumtionen av UPW varierar från anläggning till anläggning och över tiden beroende på vilka processer som används. Trots försök att av ekologiska motiv minska vattenförbrukningen har industrin hittills stadigt ökat vattenanvändningen, helt enkelt därför att mer avancerade komponenter behöver noggrannare rengöring.
Återvinning
Rent vatten är ett värdefullt material som bör användas på ett optimalt sätt. Att dumpa förorenat vatten har dessutom börjat bli oacceptabelt ur miljösynpunkt.
Tidiga försök att återanvända vatten utgick från att en del av vattnet kunde återvinnas för att användas i kyltorn och skrubber och till att vattna gräsmattor med.
Att på så sätt uppnå cirka 40 % minskning av vattenförbrukningen var lätt. Det är svårare att nå 70 % eller mer. Xzero möjliggör nära 100 % återvinning genom att vattnet blir tillräckligt rent för att återanvändas som renvatten i produktionen.
Fördelar
- Enklare | använder långt färre steg än befintliga system.
- Renare | kan ta bort samtliga typer av föroreningar totalt
- Pålitligare | tar alltid bort alla föroreningar.
- Nollutsläpp | kan återanvända vatten och koncentrera föroreningar till fast rest.
- Ekonomiskt | lägre kapital och driftskostnader.