Vatten med hög renhet, i sig eller som lösningsmedel till andra kemikalier, används för att avlägsna kemikalier och reaktionsprodukter. Storleken på föroreningar som behöver elimineras minskar allteftersom komponenterna blir allt mer kompakta.
Renvatten tillverkas på olika sätt. Men alla har idag en central anläggning. Medelkapaciteten är 1,5 miljoner liter (400 000 US gallon) per dag men ett ökande antal anläggningar är flera gånger större. Vattnet cirkulerar ständigt i en slinga (polishing loop) för att förhindra bakterietillväxt och pumpas vid behov från den centrala anläggningen till renrum i enskilda tillverkningsenheter s.k. fabs. En anläggning kan ha ett halvdussin fabs eller mer.
Den faktiska konsumtionen av UPW varierar från anläggning till anläggning och över tiden beroende på vilka processer som används. Trots försök att av ekologiska motiv minska vattenförbrukningen har industrin hittills stadigt ökat vattenanvändningen, helt enkelt därför att mer avancerade komponenter behöver noggrannare rengöring.